STUDY OF MAGNETRON DEPOSITION AND IMMERSION COATING METHODS OBTAINING VANADIUM PENTOXIDE THIN FILMS
Autor: | O. Baigenzhenov, I. Aimbetova, G. Issayev, B. Seitov |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Bulletin of D. Serikbayev EKTU. :30-39 |
ISSN: | 2789-8210 1561-4212 |
DOI: | 10.51885/1561-4212_2022_4_30 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |