Spectroscopic ellipsometric characterization of Si/Si1-xGex strained-layer supperlattices

Autor:	H. Yao, J.A. Woollam, P.J. Wang, M.J. Tejwani, S.A. Alterovitz
Rok vydání:	1993
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::06354cf5c7f9dddf728dc99f5f30095d https://doi.org/10.1016/b978-0-444-89908-8.50015-5 Zobrazit plný text záznamu