Structure of TiN Thin Film Grains in Dependence on their Crystallographic Orientation
Autor: | Václav Valvoda, R. Černý, M. Merisalo, Radomír Kužel, M. Blomberg |
---|---|
Rok vydání: | 1991 |
Předmět: | |
Zdroj: | Materials Science Forum. :903-908 |
ISSN: | 1662-9752 |
DOI: | 10.4028/www.scientific.net/msf.79-82.903 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |