Numerical modelling of boron removal from silicon by oxidizing gas jet

Autor:	Sergejs Pavlovs
Rok vydání:	2020
Předmět:	General Physics and Astronomy Electrical and Electronic Engineering
Zdroj:	Magnetohydrodynamics. 56:81-92
ISSN:	1574-0579 0024-998X
DOI:	10.22364/mhd.56.1.8
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::051f0a2901de2919a9fc8cab1575bbbd https://doi.org/10.22364/mhd.56.1.8 Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu PDF