A Low-Noise, Two-Channel STEM EBIC Metrology System

Autor: William A Hubbard, Matthew Mecklenburg, B C Regan
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Microscopy and Microanalysis. 28:794-795
ISSN: 1435-8115
1431-9276
DOI: 10.1017/s1431927622003580
Databáze: OpenAIRE