The effect of the surface patterning by ion beam irradiation on the Ag directional outflow in Ag/AlN nano-multilayers
Autor: | A.V. Druzhinin, C. Cancellieri, R. Hauert, E.A. Klyatskina, N.N. Khrapova, A.A. Mazilkin, B.B. Straumal, J. Janczak-Rusch |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Vacuum. 210:111850 |
ISSN: | 0042-207X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |