Fluorine-containing photoreactive polyimide. 7. Photochemical reaction of pendant 1,2-naphthoquinone diazide moieties in novel photoreactive polyimides

Autor: Ken'ichi Koseki, Tsuguo Yamaoka, Hideaki Mochizuki, Toshihiko Omote
Rok vydání: 1990
Předmět:
Zdroj: Macromolecules. 23:4796-4802
ISSN: 1520-5835
0024-9297
DOI: 10.1021/ma00224a008
Popis: Les groupes diazo 1,2-naphtoquinone (NQD) sont fixes par esterification des groupes alcools du polyimide de depart. Selon la proportion des motifs NQD, les polyimides presentent un caractere de resist positif avec un revelateur aqueux basique ou un caractere de resist negatif avec un revelateur organique. La cinetique et le mecanisme de la photoreticulation du polyimide sont etudies. L'hydrophobicite du polyimide augmente avec la proportion de motifs NQD
Databáze: OpenAIRE