Fluorine-containing photoreactive polyimide. 7. Photochemical reaction of pendant 1,2-naphthoquinone diazide moieties in novel photoreactive polyimides
Autor: | Ken'ichi Koseki, Tsuguo Yamaoka, Hideaki Mochizuki, Toshihiko Omote |
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Rok vydání: | 1990 |
Předmět: | |
Zdroj: | Macromolecules. 23:4796-4802 |
ISSN: | 1520-5835 0024-9297 |
DOI: | 10.1021/ma00224a008 |
Popis: | Les groupes diazo 1,2-naphtoquinone (NQD) sont fixes par esterification des groupes alcools du polyimide de depart. Selon la proportion des motifs NQD, les polyimides presentent un caractere de resist positif avec un revelateur aqueux basique ou un caractere de resist negatif avec un revelateur organique. La cinetique et le mecanisme de la photoreticulation du polyimide sont etudies. L'hydrophobicite du polyimide augmente avec la proportion de motifs NQD |
Databáze: | OpenAIRE |
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