Attempt of the layer modification using externally controlled elements during magnetron sputtering

Autor:	P. Lichograj, T. Grudniewski, R. Lichograj, Z. Lubańska, S. Czernik
Rok vydání:	2014
Předmět:	Materials science Thin layer Analytical chemistry Sputter deposition
Zdroj:	Journal of Civil Engineering, Environment and Architecture. :195-202
ISSN:	2300-8903 2300-5130
DOI:	10.7862/rb.2014.87
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::03a26f038404d608701a310aa6a6bd09 https://doi.org/10.7862/rb.2014.87 Zobrazit plný text záznamu