Probleme bei der quantitativen Analyse dünner Schichten

Autor: W. Bonsels, H. Carl
Rok vydání: 1983
Předmět:
Zdroj: Fresenius' Zeitschrift für analytische Chemie. 314:301-303
ISSN: 0016-1152
DOI: 10.1007/bf00516825
Popis: Bei den Oberflachenanalysenmethoden ESCA und Auger handelt es sich um Relativverfahren. Die Herstellung und Kontrolle erforderlicher Eichproben wird diskutiert. Dabei liegt der Schwerpunkt auf Reproduzierbarkeit und Reinheit der Schichten.
Databáze: OpenAIRE
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