Autor:	Thorsten Lill, Samantha Tan, Meihua Shen, Eric Hudson, Keren J. Kanarik, Richard A. Gottscho, Pan Yang, Jeffrey Marks, Vahid Vahedi
Rok vydání:	2016
Předmět:	010302 applied physics Materials science business.industry Etching (microfabrication) 0103 physical sciences Optoelectronics 02 engineering and technology 021001 nanoscience & nanotechnology 0210 nano-technology business 01 natural sciences Layer (electronics)
Zdroj:	Encyclopedia of Plasma Technology ISBN: 9781482214314
DOI:	10.1081/e-eplt-120053939
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::024163fe5ce34a804f05817523f50dd2 https://doi.org/10.1081/e-eplt-120053939 Zobrazit plný text záznamu