High Quality AlN Layer Regrown on AlN Nanostructure by Hydride Vapor Phase Epitaxy
Autor: | Jinwon Gim, Jonghee Hwang, Young Jun Choi, Hae-Kon Oh, Dae-Woo Jeon, Hae-Yong Lee, Tea-Young Lim, Jin Ho Kim, Mi-Jai Lee, Hoki Son |
---|---|
Rok vydání: | 2015 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers. 28:711-714 |
ISSN: | 1226-7945 |
DOI: | 10.4313/jkem.2015.28.11.711 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |