High Quality AlN Layer Regrown on AlN Nanostructure by Hydride Vapor Phase Epitaxy

Autor: Jinwon Gim, Jonghee Hwang, Young Jun Choi, Hae-Kon Oh, Dae-Woo Jeon, Hae-Yong Lee, Tea-Young Lim, Jin Ho Kim, Mi-Jai Lee, Hoki Son
Rok vydání: 2015
Předmět:
Zdroj: Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers. 28:711-714
ISSN: 1226-7945
DOI: 10.4313/jkem.2015.28.11.711
Databáze: OpenAIRE