Effect of crucible thermal conductivity on dislocation distribution in crystals in a silicon carbide physical vapor transport furnace
Autor: | Kazuma Miyazaki, Satoshi Nakano, Shin-ichi Nishizawa, Koichi Kakimoto |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Crystal Growth. 603:126981 |
ISSN: | 0022-0248 |
DOI: | 10.1016/j.jcrysgro.2022.126981 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |