A Four Level Silicon Microstructure Fabrication by DRIE
| Autor: | Cegielski, Piotr, Rahiminejad, Sofia, Carpenter, Sona, Abassi, Morteza, Enoksson, Peter |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2015 |
| DOI: | 10.13140/rg.2.1.2673.3529 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|