Autor:	Chiharu Maeda
Rok vydání:	2000
Předmět:	Materials science business.industry Getter Scientific method Plasma Electrical and Electronic Engineering Condensed Matter Physics Process engineering business Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	SHINKU. 43:951-955
ISSN:	1880-9413 0559-8516
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::008eca1886372694901be7093914f266 https://doi.org/10.3131/jvsj.43.951 Zobrazit plný text záznamu