Autor: |
Richard Kowarschik, Rainer Riesenberg, Paul Petruck |
Rok vydání: |
2010 |
Předmět: |
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Zdroj: |
tm - Technisches Messen. 77:473-478 |
ISSN: |
0171-8096 |
DOI: |
10.1524/teme.2010.0028 |
Popis: |
Zusammenfassung Interferometrische Mess- und Abbildungsverfahren sind häufig durch kohärentes Rauschen begrenzt. Eine Anpassung des Kohärenzvolumens an die Messbedingungen kann das Rauschen verringern. Für die holografische Mikroskopie müssen Kohärenzparameter im Mikrometerbereich eingestellt und gemessen werden. Das klassische Young´sche Doppelspalt-Interferometer ist dabei oft zu unempfindlich. Ein erweitertes Array-Interferometer liefert deutlich empfindlichere Messungen für die Bestimmung der Kohärenzfläche. |
Databáze: |
OpenAIRE |
Externí odkaz: |
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