Caractérisation non destructive de couches minces à l'aide d'une cavité Klystron
| Autor: | Madrangeas, Valérie, Cros, Dominique, Aubourg, Michel, Passerieux, Damien, Le Floch, Jean-Michel, Fan, Yahoui, Tobar, Michael |
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| Přispěvatelé: | MINACOM (XLIM-MINACOM), XLIM (XLIM), Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ARC Centre of Excellence Engineered Quantum Systems (EQuS), The University of Western Australia (UWA) |
| Jazyk: | francouzština |
| Rok vydání: | 2013 |
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| Zdroj: | Troisième colloque francophone PLUridisciplinaire sur les Matériaux, l'Environnement et l'Electronique (PLUMEE 2013) Troisième colloque francophone PLUridisciplinaire sur les Matériaux, l'Environnement et l'Electronique (PLUMEE 2013), May 2013, Bacau, Roumanie. pp.ISSN-ISSN-L : 2343-9092 |
| Popis: | National audience; Ce papier présente deux méthodes spécifiques de caractérisations diélectriques de couches minces déposées sur des substrats. L'une emploie deux résonateurs diélectriques, placés en regard à l'intérieur d'une cavité métallique cylindrique et l'autre est basée sur l'utilisation de cavités Klystron. Les mesures des perturbations des fréquences de résonance et facteurs de qualité à vide lors de l'introduction des échantillons à caractériser permettent à l'aide de logiciel de simulation électromagnétique de déterminer les permittivités et tangentes de pertes. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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