High voltage excitation and nonlinear transmission of a 16 MHz AlN-based piezoelectric micro-machined ultrasonic transducer
| Autor: | Liu, Wen-Juan |
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| Přispěvatelé: | Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN (MAMINA - IEMN), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 (IEMN-DOAE), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), TORCK, Kathleen |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: |
[SPI.ACOU]Engineering Sciences [physics]/Acoustics [physics.class-ph]
[SPI.ACOU] Engineering Sciences [physics]/Acoustics [physics.class-ph] [SPI]Engineering Sciences [physics] PMUT [SPI] Engineering Sciences [physics] [SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics High Voltage Excitation Cavity SOI [SPI.MAT] Engineering Sciences [physics]/Materials [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics AlN [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials |
| Popis: | Poster E0; International audience; This paper reports a 16 MHz AlN-based piezoelectric micro-machined ultrasonic transducer (PMUT) under high voltage excitation. The proposed PMUT array consists of 44x39 elements fabricated on a silicon-on-insulator (SOI) substrate with 1 μm AlN film on 5 μm silicon membrane. The electrical impedance was 11.6-j30 Ohm at 15.8 MHz resonant frequency in air and 4.72-j25 Ohm at 13.9 MHz when water charged. The LDV measurements showed that the transmission efficiency and the bandwidth for free vibration were 1.7 nm/V and 2.1%, respectively. Nonlinear behavior was observed when increasing the burst amplitude. This strategy is potentially applied to CMOS-compatible high-resolution ultrasonography |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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