Nanoimprint lithography for 3D surface nanostructuring and photonic devices

Autor:	Reboud, V., Kehagias, N., Zelsmann, M., Lovera, P., Schuster, C., Kubenz, M., Reuther, F., Gruetzner, G., Redmond, G., Sotomayor Torres, C.M
Přispěvatelé:	Clot, Marielle, Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2007
Předmět:	ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Zdroj:	Materials Research Society conference-MRS 2007, Fall Meeting Materials Research Society conference-MRS 2007, Fall Meeting, 2007, boston, United States
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::ec588b98d6e14dbc6c36bcecaf58d049 https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00396810 Zobrazit plný text záznamu