Laser flash photolysis study of some N-oxysuccinimidosulfonate photoacid generators: potential photoacid generators for 193 nm lithography

Autor:	Fausto Ortica, Scaiano, Jc, Cameron, Jf, Liu, H.
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	1999
Zdroj:	ResearcherID
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::e0681148e8858a280f3a22084f145841 https://hdl.handle.net/11391/144049 Zobrazit plný text záznamu