Etude par XPS « quasi insitu » de la croissance sélective de couches de TiO2
| Autor: | Pelissier, B., Vallat, R., Salicio, O., Gassilloud, R., Vallee, C. |
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| Přispěvatelé: | Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Clot, Marielle |
| Jazyk: | francouzština |
| Rok vydání: | 2018 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ELSPEC 2018 ELSPEC 2018, Jun 2018, Biarritz, France |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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