Ultra-thin membrane based MEMS and NEMS technologies: actuation, sensing and energy considerations
| Autor: | Montès, L., Lefevre, R., Salette., A., D., Rabaud, L., Dargent, H., Marko, X., Xu, A., Potié, B., Bercu, Hinchet, R., Rochette, F., G., Ardila, Morfouli, P., M., Mouis, C., Dehan, Le Masne, Q. |
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| Přispěvatelé: | Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Rasolofoniaina, Brigitte |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2013 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | International Symposium on Component base of silicon micro-and nanoelectronics, solid state quantum computers International Symposium on Component base of silicon micro-and nanoelectronics, solid state quantum computers, Sep 2013, Moscou, Russia |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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