Use of Computational Fluid Dynamics (CFD) simulations to predict and tune the deposition mode in close-proximity Spatial Atomic Layer Deposition (SALD)
| Autor: | Masse De La Huerta, César, Nguyen, Viet, Brandao Veiga, Pedro, Dedulle, Jean-Marc, Bellet, Daniel, Jiménez, Carmen, Muñoz-Rojas, David |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP ), Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2018 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | COMSOL Conference 2018 COMSOL Conference 2018, Oct 2018, Laussanne, Switzerland |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|