Epitaxial layers grown with HCl addition: a comparison with the standard process
Autor: | Robert P Devaty, David J. Larkin And Stephen E. Saddow, La Via, F., Galvagno, G., Firrincieli, A., Roccaforte, F., Di Franco, S., Ruggiero, A., Barbera, M., Riccardo Reitano, Paolo Musumeci, Lucia CALCAGNO, Foti, G., Mauceri, M., Leone, S., Pistone, G., Portuese, F., Abbondanza, G., Abagnale, G., Valente, G. L., Crippa, D. |
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Zdroj: | ResearcherID Università degli Studi di Catania-IRIS |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |