The role of nitrogen in the formation of luminescent silicon nanoprecipitates during heat treatment of SiO$_2$ layers implanted with Si$^+$
| Autor: | Kachurin, G.A., Yanovskaya, S.G., Zhuravlev, K.S., Ruault, M.O. |
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| Přispěvatelé: | Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse (CSNSM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (IN2P3)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2001 |
| Zdroj: | Semiconductors Semiconductors, 2001, 35, pp.1182-1186 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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