Shrinkage mechanism of nanocavities in amorphous Si under ion irradiation: An in situ study

Autor: Ruault, M.O., Ridgway, M.C., Fortuna, F., Bernas, H., Williams, J.S.
Přispěvatelé: Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse (CSNSM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (IN2P3)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11), Lorgeril, Jocelyne
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2003
Předmět:
Zdroj: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, Elsevier, 2003, 206, pp.912-915
ISSN: 0168-583X
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: