Microsystème à fonction microélectrique et microfluidique et son procédé de fabrication

Autor:	Bertrand François Charles Bocquet, Treizebre, A., Simon Laurette
Přispěvatelé:	Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Jazyk:	francouzština
Rok vydání:	2012
Předmět:	[SPI]Engineering Sciences [physics]
Zdroj:	N° de brevet: FR2967991 (A1). 2012 France, N° de brevet: FR2967991 (A1). 2012 HAL
Popis:	n° de priorité : FR20100059849 20101129 ; également publié en tant que : WO2012072917 (A1) 2012-06-07
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::b903486f69eedc663a267f9e623201b7 https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00703189 Zobrazit plný text záznamu