Spray coating of Ba0.6Sr0.4TiO3 nanoparticles: a low-cost and scalable process for the deposition of dielectric thin films
Autor: | Emmanuel Tetsi, Gilles Philippot, BORD MAJEK Isabelle, Cyril Aymonier, Jean Audet, Roxan Lemire, Laurent Bechou, Dominique Drouin |
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Přispěvatelé: | Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes (LN2 ), Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Sherbrooke (UdeS)-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut de Chimie de la Matière Condensée de Bordeaux (ICMCB), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Université de Bordeaux (UB), IBM Bromont, Université de Sherbrooke (UdeS), Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT) |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | 44th International Conference on Micro and Nanoengineering (MNE 2018) 44th International Conference on Micro and Nanoengineering (MNE 2018), Sep 2018, Copenhague, Denmark HAL |
Popis: | International audience |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |