Pulsed-laser deposition of nanoparticles for the PECVD growth of carbon nanotubes in a chamber combining both techniques

Autor: Mbitsi, Hermane, Kouassi, Sébastien, Boulmer-Leborgne, Chantal, Millon, Eric, Roy, Mathieu
Přispěvatelé: Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université d'Orléans (UO), STMicroelectronics [Tours] (ST-TOURS), Millon, Eric
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2008
Předmět:
Zdroj: E-MRS 2008 Spring Meeting
E-MRS 2008 Spring Meeting, May 2008, Strasbourg, France
Databáze: OpenAIRE