Pulsed-laser deposition of nanoparticles for the PECVD growth of carbon nanotubes in a chamber combining both techniques
Autor: | Mbitsi, Hermane, Kouassi, Sébastien, Boulmer-Leborgne, Chantal, Millon, Eric, Roy, Mathieu |
---|---|
Přispěvatelé: | Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université d'Orléans (UO), STMicroelectronics [Tours] (ST-TOURS), Millon, Eric |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2008 |
Předmět: | |
Zdroj: | E-MRS 2008 Spring Meeting E-MRS 2008 Spring Meeting, May 2008, Strasbourg, France |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |