Development and characterization of microplasma arrays on Silicon
| Autor: | Dussart, Remi, Dufour, Thierry, Kulsreshath, Mukesh, Felix, Valentin, Schwaederlé, Laurent, Lefaucheux, Philippe, Tillocher, Thomas, Sadeghi, N., Pitchford, Leanne, Schulz-von Der Gathen, V., Overzet, Lawrence |
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| Přispěvatelé: | Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire de Spectrométrie Physique (LSP), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie (LAPLACE), Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Institute for Applied Plasma Physics, Ruhr-Universität Bochum [Bochum], Plasma Application Laboratory (PAL), University of Texas at Dallas [Richardson] (UT Dallas), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2012 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | International Workshop on Physics of Microplasmas International Workshop on Physics of Microplasmas, May 2012, Bochum, Germany |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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