Strain distribution induced in SOI photonic substrate by TSVs, using advanced X- ray nano-diffraction

Autor:	Escoubas, S., Vianne, B., Richard, M.I., Fiori, V., Farcy, A., Thomas, O.
Přispěvatelé:	Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (IM2NP), Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Aix Marseille Université (AMU), Aix Marseille Université (AMU)-Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Bibliométrie, IM2NP
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2016
Předmět:	[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Zdroj:	Materials for Advanced Metallization, MAM 2016 Materials for Advanced Metallization, MAM 2016, Mar 2016, Brussels, Belgium
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::abbf2f88c06bdb65e4f63c12503d3cba https://hal-amu.archives-ouvertes.fr/hal-01454828 Zobrazit plný text záznamu