Optical and electrical diagnostics of industrial plasma reactors: measuring the relevant physical quantities to assist process development
| Autor: | Cunge, G., Younesi, S., Loubet, N., Kogelschatz, M., Pargon, E., Petit-Etienne, C., Joubert, O., Despiau-Pujo, E. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Clot, Marielle, Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM ), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | AVS 68th AVS 68th, Nov 2022, Pittsburgh, United States |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|