Micro-accéléromètre intégré 3 axes

Autor: Jeannot, J. C., Schropfer, G., Goy, J., Courtois, B., Michel de Labachelerie
Přispěvatelé: Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC), Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), SENSONOR/ASA, Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés (TIMA), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Franche-Comté (UFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM), Techniques of Informatics and Microelectronics for integrated systems Architecture (TIMA), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)
Jazyk: francouzština
Rok vydání: 2000
Předmět:
Zdroj: Microcapteurs et microsystèmes intégrés (NMT, Nano et Micro Technologies)
Microcapteurs et microsystèmes intégrés (NMT, Nano et Micro Technologies), Hermès Science, pp.Vol. 1 N°1, 2000
HAL
ISSN: 7462-0142
Popis: ISBN: 2-7462-0142-9; Cette revue s'adresse à l'ensemble de la communauté scientifique et technique des chercheurs et des ingénieurs en nanotechnologies, microtechnologies, miniaturisation et intégration des microsystèmes.
Databáze: OpenAIRE