XPS analysis with an ultra clean vacuum substrate carrier for Oxydation and Airborne Molecular Contamination prevention
| Autor: | Pelissier, B., Kambara, H., Godot, E., Veran, E., Loup, V., Joubert, O., Bensahel, D. |
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| Přispěvatelé: | Clot, Marielle, Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2006 |
| Zdroj: | 9th technical and scientific meeting of Arcsis 9th technical and scientific meeting of Arcsis, 2006, Fuveau, France |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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