Résonateurs MEMS en nitrure de gallium
| Autor: | Faucher, M., Theron, D., Cordier, Y., Semond, F., Ben Amar, A., Brandli, V., Grimbert, B., Werquin, M., Buchaillot, L. |
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| Přispěvatelé: | Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA), Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS), COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA) |
| Jazyk: | francouzština |
| Rok vydání: | 2012 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, 2012, Bordeaux, France |
| Popis: | National audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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