Incorporación de metal en capas de carbono amorfo hidrogenado mediante deposición química en fase vapor asistida por plasma de resonancia ciclotrónica de electrones = Metal incorporation in hydrogenated amorphus carbon films deposited by biased electron cyclotron resonance chemical vapour deposition
Autor: | Pardo Pérez, Ainhoa |
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Přispěvatelé: | Gómez-Aleixandre Fernández, Cristina, Buijnsters, Josephus Gerardus, Universidad Autónoma de Madrid. Departamento de Física Aplicada, CSIC. Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM) |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2012 |
Předmět: | |
Zdroj: | Biblos-e Archivo. Repositorio Institucional de la UAM instname |
Popis: | Tesis doctoral inédita de la Universidad Autónoma de Madrid. Facultad de Ciencias, Departamento de Física Aplicada. Fecha de lectura: 21-06-2012 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |