Incorporación de metal en capas de carbono amorfo hidrogenado mediante deposición química en fase vapor asistida por plasma de resonancia ciclotrónica de electrones = Metal incorporation in hydrogenated amorphus carbon films deposited by biased electron cyclotron resonance chemical vapour deposition

Autor: Pardo Pérez, Ainhoa
Přispěvatelé: Gómez-Aleixandre Fernández, Cristina, Buijnsters, Josephus Gerardus, Universidad Autónoma de Madrid. Departamento de Física Aplicada, CSIC. Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2012
Předmět:
Zdroj: Biblos-e Archivo. Repositorio Institucional de la UAM
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Popis: Tesis doctoral inédita de la Universidad Autónoma de Madrid. Facultad de Ciencias, Departamento de Física Aplicada. Fecha de lectura: 21-06-2012
Databáze: OpenAIRE