MEMS based nanofluidics device for the study of the nonlinear dynamics associate with the geochemical processes

Autor: Kulsreshath, Mukesh, Stolz, Arnaud, Lefaucheux, Philippe, Mercury, Lionel, Dussart, Remi
Přispěvatelé: Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut des Sciences de la Terre d'Orléans - UMR7327 (ISTO), Bureau de Recherches Géologiques et Minières (BRGM) (BRGM)-Observatoire des Sciences de l'Univers en région Centre (OSUC), Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Observatoire de Paris, Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Observatoire de Paris, Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Biogéosystèmes Continentaux - UMR7327, Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Bureau de Recherches Géologiques et Minières (BRGM) (BRGM)-Observatoire des Sciences de l'Univers en région Centre (OSUC)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2019
Předmět:
Zdroj: French symposium on Emerging Technologies for Micronanofabrication
French symposium on Emerging Technologies for Micronanofabrication, Nov 2019, Grenoble, France
Popis: International audience; To understand the evolution of man-impacted hydrosystems with the Earth Sciences, MEMS based nanofluidics devices were prepared. This paper presents the detailed different fabrication steps used for the preparation of successful nanofluidics devices.
Databáze: OpenAIRE