Study of self-actuated screen-printed PZTcantilevers

Autor:	Lakhmi, Riadh, Castille, Christophe, Debéda, Hélène, Maglione, Mario, Lucat, Claude
Přispěvatelé:	Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1, Institut de Chimie de la Matière Condensée de Bordeaux (ICMCB), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Université de Bordeaux (UB)
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2011
Předmět:	[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Zdroj:	CICMT CICMT, 2011, San Diego, United States. 6 p
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::9332dbe695d7fde70a3a88986f304546 https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00585451 Zobrazit plný text záznamu