Micro-masonry for the simple fabrication of nanoplate resonators with integrated electrostatic transduction transduction
| Autor: | Bhaswara, Adhitya, Keum, Hohyun, Mathieu, Fabrice, Legrand, Bernard, Kim, Seok, Nicu, Liviu, Leichle, Thierry |
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| Přispěvatelé: | Équipe NanoBioSystèmes (LAAS-NBS), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Équipe Microsystèmes électromécaniques (LAAS-MEMS), Illinois State University, Service Instrumentation Conception Caractérisation (LAAS-I2C), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2016 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2016 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2016, Sep 2016, Vienne, Austria |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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