Electrical detection of failures of MEMS electrostatic microactuators for test circuits
| Autor: | Caillard, B., Mita, Y., Fukuta, Y., Chapuis, Y.A., Shibata, T., Fujita, H. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Jung, Marie-Anne, Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes (InESS), Université Louis Pasteur - Strasbourg I-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2005 |
| Zdroj: | 6th IEEE Latin-American Test Workshop (LATW 2005) |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|