Tin-sb Nanokompozit İnce Filmlerin Hibrit Yöntemle Kaplanması Ve Karakterizasyonu

Autor: Daryal, Mehmet Bariş
Přispěvatelé: Kazmanlı, M. Kürşat, Malzeme, Materials, Kazmanlı, Muhammet Kürşat, Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı
Rok vydání: 2005
Předmět:
Popis: Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2005
Thesis (M.Sc.) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 2005
Bu çalışmada, katodik ark ve manyetik alanda sıçratma yöntemleri hibrit kullanılarak, fiziksel buhar biriktirme yöntemi ile TiN-Sb nano kompozit ince film kaplamalar üretilmiştir. Üretilen kaplamaların karakterizasyon işlemleri gerçekleştirilmiştir. Antimon artışına bağlı olarak değişen titanyum nitrür tane boyutunun kaplama sertliği ve yapısına olan etkileri gözlenmiştir.
In this study using hybrid-coating system of cathodic arc and magnetron sputtering TiN-Sb nanocomposits are produced. On TiN-Sb nanocomposit thin films characterization tests are performed. Hardness and structural changes based on the changing grain size due to antimony content is scanned.
Yüksek Lisans
M.Sc.
Databáze: OpenAIRE