New capacitor parametric test methodology for process issues control
| Autor: | Manceau, Jean-Philippe, Bajolet, Aurélie, Cremer, S., Quoirin, M., Bruyère, S., Sylvestre, A., Gonon, Patrice |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Garcia, Sylvie, Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble (G2ELab), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut Polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ST Microélectronic, Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ST Microélectronics, Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2007 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ESSDERC, European Solid-stade Device Research Conference ESSDERC, European Solid-stade Device Research Conference, Sep 2007, Munich, Germany |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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