Automatización del control térmico de un sistema de evaporación de películas delgadas utilizando LabView
| Autor: | J. Balderas-Zapata, M. Zapata-Torres, F. Chalé-Lara, H. Peraza-Vázquez |
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| Jazyk: | Spanish; Castilian |
| Rok vydání: | 2008 |
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| Zdroj: | Instituto Politécnico Nacional IPN Redalyc-IPN Ingeniería (México) Num.1 Vol.12 |
| Popis: | "En este trabajo se presenta la automatización, mediante LabView, de un sistema de evaporación para el crecimiento de películas delgadas semiconductoras por el método Transporte de Vapor en Espacio Reducido Combinada con Evaporación Libre (CSVT-FE, por sus siglas en ingles). Este sistema utiliza como calefactores tres bloques de grafito para la evaporación de los materiales fuente. La corriente eléctrica es suministrada a cada grafito mediante una fuente de poder programable. Las temperaturas de los bloques de grafito son monitoreadas utilizando termopares tipo K. El software fue desarrollado utilizando el lenguaje de instrumentación LabView 7.0, el cual permite controlar la corriente de cada fuente de poder que alimenta a los grafitos. Asimismo, se registran en tiempo real, la temperatura y la corriente suministradas a cada calefactor. El software desarrollado permite programar rampas e isotermas de temperaturas a tiempos determinados y despliega en tiempo real la gráfica del comportamiento de la temperatura de cada uno de los grafitos, almacenando en formato de hojas de cálculo, los datos de corriente suministrada y temperatura obtenidas. Con el sistema desarrollado se depositaron películas semiconductoras de CdxZn1-xTe, las cuales fueron caracterizadas mediante análisis de dispersión de energía de rayos-x y transmisión óptica." |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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