Développement d'un pré-concentrateur miniaturisé en technologie silicium pour la détection de substances chimiques à l'état de traces

Autor: Pijolat, Christophe, Camara, El Hadji Malick, Viricelle, Jean-Paul, Tournier, Guy, Breuil, Philippe, Courbat, Jérôme, Briand, Danick
Přispěvatelé: Centre Sciences des Processus Industriels et Naturels (SPIN-ENSMSE), École des Mines de Saint-Étienne (Mines Saint-Étienne MSE), Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), Laboratoire des Procédés en Milieux Granulaires (LPMG-EMSE), Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Procédés et REactivité des Systèmes Solide-gaz, Instrumentation et Capteurs (PRESSIC-ENSMSE), Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-SPIN, Département Microsystèmes, Instrumentation et Capteurs Chimiques (MICC-ENSMSE), Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Institute of Microtechnology, Université de Neuchâtel (UNINE), Michel Cournil, University of Neuchâtel Jaquet-Droz 1, PO Box 526, CH 2002 Neuchâtel, Switzerland, Toucas, Andrée-Aimée
Jazyk: francouzština
Rok vydání: 2007
Předmět:
Zdroj: Récents Progrès en Génie des Procédés
11ème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés
11ème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés, Oct 2007, Saint-Étienne, France. pp.Thème 1 Article 400
Popis: International audience; L'objectif principal de cette étude est le développement d'un dispositif de pré-concentration basé sur une technologie de microréacteur en silicium. Les applications visées concernent les systèmes miniaturisés de détection de traces gazeuses, soit en pollution atmosphérique, soit pour la détection d'explosifs. Pour cela, une poudre de carbone est utilisée comme matériau adsorbent, et les dispositifs ont été testés sous benzène. Les composants sont constitués de micro-canaux en silicium obtenus par gravures DRIE. Ils sont équipés de capillaires métalliques et d'un micro-chauffage. Une partie de l'étude porte sur le dépôt par méthode fluidique de la poudre de carbone dans les micro-canaux. Un intérêt particulier de l'étude concerne l'utilisation de silicium poreux pour augmenter la quantité de carbone déposé. Les tests de faisabilité sous benzène permettent de vérifier l'effet de pré-concentration recherché.
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: