A pH-sensor based on silicon nanowires growth by Vapor-Liquid-Solid onto a N+ type polysilicon microelectrode

Autor:	Merzouk, S., Lee, M., Baraket, A., Zine, N., Renault-Jaffrezic, N., Anne-Claire Salaün, Laurent Pichon, Régis Rogel, Errachid, A.
Přispěvatelé:	Salaün, Anne-Claire, Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes (IETR), Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2014
Předmět:	[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Zdroj:	HAL Biosensors 2014 Biosensors 2014, May 2014, Melbourne, Australia
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::863fa2d83adfcaa704375946f538ae4d https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01113256 Zobrazit plný text záznamu