Autor:	Belot, Didier, Lucas de Peslouan, Pierre-Olivier, Majek, Cédric, Deval, Yann, Taris, Thierry, Begueret, Jean-Baptiste
Přispěvatelé:	STMicroelectronics, Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2012
Předmět:	[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
Zdroj:	United States, Patent n° : US20120062288. 2012
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::7ef3c40eca2e21c14fe93540cb63f8f0 https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01582204 Zobrazit plný text záznamu