Nanoparticle formation from thin film sputtering in low pressure plasmas
| Autor: | Maxime Mikikian, Safa Labidi, Erik von Wahl, Jean-François Lagrange, Thomas Lecas, Véronique Massereau-Guilbaud, Isabelle Géraud-Grenier, Eva Kovacevic, Johannes Berndt, Holger Kersten, titaina gibert |
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| Přispěvatelé: | Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut für Experimentelle und Angewandte Physik [Kiel] (IEAP), Christian-Albrechts-Universität zu Kiel (CAU), PICS DING |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2016 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Workshop "Plasma surface interaction for technological applications" Workshop "Plasma surface interaction for technological applications", Jul 2016, Kiel, Germany HAL |
| Popis: | International audience |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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