Energy influx measurements in low pressure plasmas for material processing

Autor:	Thomann, Anne-Lise, Cormier, Pierre-Antoine, Dussart, Remi, Semmar, Nadjib, Mathias, Jacky, A., Balharmi, Konstantinidis, Stephanos, Kersten, Holger
Přispěvatelé:	Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Chimie des Interactions Plasma-Surface (ChIPS) (ChIPS), Université de Mons-Hainaut, Institut für Experimentelle und Angewandte Physik [Kiel] (IEAP), Christian-Albrechts-Universität zu Kiel (CAU)
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2011
Předmět:	ComputingMilieux_MISCELLANEOUS [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials
Zdroj:	Innovations in Thin Film Processing and Characterisation, and Magnetron, Ion Processing and Arc Technologies European Conference, ITFPC-MIATEC 2011 Innovations in Thin Film Processing and Characterisation, and Magnetron, Ion Processing and Arc Technologies European Conference, ITFPC-MIATEC 2011, Nov 2011, Nancy, France
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::75d331459a9da1a860adf2312c12edde https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01289043 Zobrazit plný text záznamu