Electrostatic micro walkers for sub-micrometer positioning
Autor: | Tas, Niels Roelof, Wissink, J., Sonnenberg, T., Molenaar, R., Vogelzang, B., Baartman, J.P., Koster, M.P., Elwenspoek, Michael Curt, Sander, A.F.M. |
---|---|
Rok vydání: | 2000 |
Předmět: | |
Zdroj: | MESA+ Day 2000 NanoLink Day 2000 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |