Direct observation of irradiation-induced nanocavity shrinkage in Si

Autor: Zhu, X.F., Williams, J.S., Conway, M.J., Ridgway, M.C., Fortuna, F., Ruault, M.O., Bernas, H.
Přispěvatelé: Centre de Spectrométrie Nucléaire et de Spectrométrie de Masse (CSNSM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (IN2P3)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2001
Zdroj: Applied Physics Letters
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2001, 79, pp.3416-3418
ISSN: 0003-6951
Databáze: OpenAIRE