A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering

Autor:	mortada, Oussama, Blondy, Pierre, Chatras, Matthieu, Crunteanu, Aurelian, Aubourg, Michel, Orlianges, Jean-Christophe
Přispěvatelé:	MINACOM (XLIM-MINACOM), XLIM (XLIM), Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Axe 2 : procédés de traitements de surface, Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS), Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM), Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle (ENSCI)-Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (IPAM), Université de Limoges (UNILIM)-Université de Limoges (UNILIM)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Chatras, Matthieu
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2014
Předmět:	[SPI.TRON] Engineering Sciences [physics]/Electronics ComputingMilieux_MISCELLANEOUS [SPI.TRON]Engineering Sciences [physics]/Electronics
Zdroj:	IEEE ICECS IEEE ICECS, Dec 2014, Marseille, France
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::5bd7afb860d25c8062b0b414ddeba5b8 https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01138356 Zobrazit plný text záznamu